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过程监测飞行时间质谱 PM-TOF
灵敏、实时监测,可进行终点检测,等离子体诊断和工艺改进。
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邮箱:sale@rayleighs.com

产品概述


主要特点

• 快速灵敏的气体监测

• 结构紧凑,易于移动和安装
• 耐腐蚀性气体

• 可集成到更大系统中,包括软件API


应用广泛

• 半导体生产过程的实时监测和诊断
• 蚀刻工艺的筛查

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